Измерители параметров полупроводниковых приборов ИППП-1

Номер в ГРСИ РФ:	РБ 03 16 2257 04
Раздел:	Средства измерений радиотехнических величин [16]
Производитель / заявитель:	ОАО "Минский научно-исследовательский приборостроительный институт" (МНИПИ), г. Минск

Скачать

Описание типа РБ 03 16 2257 04 [2004-01-01]

rb-03-16-2257-04_2004-01-01.pdf

Скачать

Нет данных о поставщике

Являетесь поставщиком? Разместите свои контакты в этом блоке! Подробнее в разделе Реклама

Измерители параметров полупроводниковых приборов ИППП-1 (далее - приборы) предназначены для измерения и автоматизации контроля электрических параметров полупроводниковых приборов, анализа их функциональных зависимостей и отображения на экране внешнего персонального компьютера (ПК) вольт-амперных характеристик (ВАХ) исследуемого объекта в виде графиков и таблиц, расчета на их основе стандартных параметров исследуемого объекта, формирования и заполнения отчета о полученных результатах.

Информация по Госреестру

Основные данные
Номер по Госреестру	РБ 03 16 2257 04
Наименование	Измерители параметров полупроводниковых приборов ИППП-1
Год регистрации	2004
Номер сертификата	2884
Дата регистрации	2004-06-24
Срок действия	-
Получатель сертификата	ОАО "МНИПИ", г. Минск, Республика Беларусь (BY)

Производитель / Заявитель

ОАО "МНИПИ"

Адрес: 220113, г. Минск, ул. Я. Коласа, 73

Контакты: тел. (017) 237-18-77, факс (017) 237-23-92/ e-mail: oaomnipi@mail.belpak.by

Поверка

Межповерочный интервал / Периодичность поверки	12 мес.
Методика поверки	Поверка проводится по МРБ МП. 1435-2004 (утверждена БелГИМ)

Поверители

Скачать

Описание типа РБ 03 16 2257 04 [2004-01-01]

rb-03-16-2257-04_2004-01-01.pdf

Скачать

Описание типа

Назначение Описание Основные технические и метрологические характеристики Комплектность Нормативные документы Заключение

Назначение

Основной областью применения является межоперационный контроль параметров тест-структур на полупроводниковых пластинах в процессе производства в электронной промышленности, анализ брака, а также исследование ВАХ при разработке новых изделий и технологий. Возможно использование приборов при входном контроле или для подбора полупроводниковых приборов по заданным параметрам.

Описание

Работа приборов основана на измерении значений тока (напряжения) на электродах тестируемого полупроводникового прибора (ПП) при формировании на них последовательности значений напряжения или тока. Формируемая величина рассматривается в качестве аргумента, а измеряемая величина - в качестве функции измеренной ВАХ в координатах напряжение-ток или ток-напряжение. ВАХ служит основой для определения или расчета интересующих параметров тестируемого ПП. Графическое отображение ВАХ формируется путем линейной аппроксимации ее значений в промежутках между измеренными точками. Значения аргумента и (или) функции могут быть заданы в линейном или логарифмическом масштабе.

Приборы имеют базовую модель ИППП-1 и модификации ИППП-1/1 - ИППП-1/6, отличающиеся количеством источников-измерителей (ИИ).

Приборы предназначены для работы от внешнего управляющего ПК по последовательному интерфейсу RS 232.

Прибор содержит несколько источников-измерителей, каждый из которых предназначен для подключения к одному из электродов тестируемого ПП.

При наличии у тестируемого ПП управляющего (база, затвор) и/или вспомогательного (подложка) электродов, прибор обеспечивает измерение семейства ВАХ по значениям одного или двух параметров, каждый из которых может быть задан в виде последовательности значений тока или напряжения, формируемых на электродах тестируемого ПП.

Внешний вид прибора представлен на рисунке 1.

Схема пломбировки прибора от несанкционированного доступа с указанием мест для нанесения оттиска клейма поверителя приведена в Приложении к описанию типа.

1й1Я

Рисунок 1 - Внешний вид измерителя параметров полупроводниковых приборов ИППП-1/3

Основные технические и метрологические характеристики

Прибор, в зависимости от модификации, имеет от одного до четырех ИИ (каналов).

ИИ обеспечивает формирование постоянного тока положительной или отрицательной полярности от 1 нА до 200 мА на диапазонах с конечными значениями 1к - ±20, ±200 нА, ±2, ±20, ±200 мкА, ±2, ±20, ±200 мА.

Пределы допускаемой основной погрешности формирования постоянного тока указаны в таблице 1.

Таблица 1

1к	Цена единицы младшего разряда	Пределы допускаемой основной погрешности ± [% ОТ 1ф + % ОТ 1к + % ОТ 1к • (ии/имаКс)]	Максимальное напряжение на нагрузке, UMaKC
20 нА	1 пА	± [2% от Ц + 1% от 1к + 5% от 1к • (Пи/имакс)]	120 В при 1ф < 10 мА
200 нА	10 пА	± [2% от 1ф + 0,5% от 1к + 2% от 1к • (U„/UMaKC)]
2 мкА	0,1 нА	± [2% от Ц + 0,2% от 1к + 1% от 1к • (UH/UMaKC)]
20 мкА	1 нА	± [0,5% от 1ф + 0,04% от 1к + 0,5% от 1к • (U„/UMaKC)]
200 мкА	10 нА
2 мА	0,1 мкА
20 мА	1 мкА
200 мА	10 мкА	±[0,5% от 1ф + 0,04% от 1к + 0,5% от 1к • (UH/UMaKC)]	ЗОВ при 10 мА < Ц < 200 мА

Примечание - В таблице I и далее по тексту:

- 1ф (Иф ) - значение формируемого тока (напряжения);

- Ik (UK ) - конечное значение диапазона тока (напряжения);

- U„ (1ц) - значение напряжения (тока) измеренного на нагрузке.

* ИИ - источник-измеритель (ИИО - источник-измеритель однопроводный или ИИД - источник-измеритель двухпроводный)

ИИ обеспечивает измерение постоянного тока положительной или отрицательной полярности от 1 нА до 200 мА на диапазонах с конечными значениями 1к - ±20, ±200 нА, ±2, ±20, ±200 мкА, ±2, ±20, ±200 мА.

Пределы допускаемой основной погрешности измерения постоянного тока указаны в таблице 2.

Таблица 2

1к	Цена единицы младшего разряда	Пределы допускаемой основной погрешности ± [% ОТ 1и + % ОТ 1к + % ОТ 1к ■ (Пф/Пмакс)]	Максимальное напряжение на нагрузке, UMaKC
20 нА	0,1 пА	± [2% от 1и + 1% от 1к + 5% от 1к ■ (и*/имакс)]	120 В при 1и < 10 мА
200 нА	1 пА	± [2% от 1и + 0,5% от 1к + 2% от 1к • (U*/UMaKC)]
2 мкА	10 пА	± [2% от 1и + 0,2% от 1к + 1% от 1к • (U*/UMaKC)]
20 мкА	0,1 нА	± [0,5% от 1и + 0,04% от 1к + 0,5% от 1к ■ (иф/имакс)]
200 мкА	1 нА
2 мА	10 нА
20 мА	0,1 мкА
200 мА	1 мкА	±[0,5% от 1и + 0,04% от 1к + 0,5% от 1к ■ (иф/Лмакс)]	ЗОВ при 10 мА < 1и < 200 мА

ИИО обеспечивает формирование напряжения постоянного тока положительной или отрицательной полярности от 0,1 до 120 В на диапазонах с конечными значениями UK-±2, ±30, ±120 В.

Пределы допускаемой основной погрешности формирования напряжения постоянного тока указаны в таблице 3.

Таблица 3

ик, В	Цена единицы младшего разряда	Пределы допускаемой основной погрешности ± [% от Иф + % от ик + % от ик ■ (1и/1макс)]	Максимальный ток через нагрузку, 1макс
2	0,1 мВ	± [0,5% от иф + % 0,04 от ик + % 0,5 от UK ■ (1и/1макс)]	200 мА при иф<30В
30	1 мВ		200 мА при иф<30В
120	10 мВ		10 мА приЗОВ <иф< 120 В

ИИО обеспечивает измерение напряжения постоянного тока положительной или отрицательной полярности от 0,1 до 120 В на диапазонах с конечными значениями UK - ±2, ±30, ±120 В.

Пределы допускаемой основной погрешности измерения напряжения постоянного тока указаны в таблице 4.

Таблица 4

ик, В	Цена единицы младшего разряда	Пределы допускаемой основной погрешности ± [% от ии + % от ик + % от ик • (1ф/1макс)]	Максимальный ток через нагрузку, 1макс
2	0,01 мВ	± [0,5% от и„ + % 0,04 от ик + % 0,5 от UK • (1ф/1макс)]	200 мА при UH<30B
30	0,1 мВ		200 мА при UH<30B
120	1 мВ		10 мА при 30 В <U„ < 120 В

ИИД обеспечивает формирование напряжения постоянного тока положительной или отрицательной полярности от 0,1 до 120 В на диапазонах с конечными значениями UK- ±2, ±30, ±120 В.

Пределы допускаемой основной погрешности формирования напряжения постоянного тока указаны в таблице 5.

Таблица 5

ик, В	Цена единицы младшего разряда	Пределы допускаемой основной погрешности ± (% от иф + % от UK)	Максимальный ток через нагрузку, 1макс
2	0,1 мВ	± (0,5 % от Цф + 0,04 % от UK)	200 мА при иф < 30 В
30	1 мВ		200 мА при иф < 30 В
120	10 мВ		10 мА при 30 В <иф < 120 В

ИИД обеспечивает измерение напряжения постоянного тока положительной или отрицательной полярности от 0,1 до 120 В на диапазонах с конечными значениями UK - ±2, ±30, +120 В.

Пределы допускаемой основной погрешности измерения напряжения постоянного тока указаны в таблице 6.

Таблица 6

ик, в	Цена единицы младшего разряда	Пределы допускаемой основной погрешности ± (% от ии + % от UK)	Максимальный ток через нагрузку, 1макс
2	0,01 мВ	± (0,5 % от ии + % 0,04от UK)	200 мА при ии < 30 В
30	0,1 мВ		200 мА при ии < 30 В
120	1 мВ		10 мА при 30 В < UH < 120 В

В режиме измерения ВАХ каждый ИИ обеспечивает формирование и измерение ступенчатого сигнала развертки в режимах формирования тока (напряжения) и измерения напряжения (тока) соответственно. Изменение величины ступеней проводится по закону соответствующему установленному виду развертки. Для развертки вида “LIN” - по линейному закону, для развертки вида “LOG ” - по логарифмическому закону по основанию 10, для развертки вида “LIST” - по списку значений. Длительность ступеней развертки устанавливается в диапазоне от 5 мс до 100 с.

В режиме измерения времязависимых параметров каждый ИИ обеспечивает формирование постоянного тока или напряжения и периодическое измерение напряжения или тока, соответственно, с одновременным отображением результатов измерения на экране ПК в течение интервала времени (установленного) в диапазоне от 10 до 1000 с.

В режиме измерения ВАХ результаты измерений представлены в виде графика с указанием масштабов, даты и времени измерения и в виде таблицы чисел.

Потребляемая мощность, В»А, не более 120;

Питание от сети переменного тока напряжением, В (220±22) частотой (50±1) Гц;

Масса прибора, кг, не более Габаритные размеры, мм, не более Степень защиты оболочки

23,0;

450x280x430.

IP20 по ГОСТ 14254-96.

от 5 до 40;

до 80 при температуре 25 °C; от 84 до 106,7 (от 630 до 800).

Рабочие условия применения:

- температура окружающего воздуха, °C - относительная влажность воздуха, % - атмосферное давление, кПа (мм рт. ст.)

Знак Государственного реестра

Знак Государственного реестра наносится на заднюю панель прибора методом офсетной печати, на титульные листы эксплуатационной документации типографским способом.